PI電容式位移傳感器Physik Instrumente

D-015 • D-050 • D-100 電容式傳感器

亞納米級(jí)分辨率位置傳感器

·         適用于具有最高精度要求的應(yīng)用

·         測(cè)量范圍達(dá) 1000 μm

·         分辨率高達(dá) 0.01 nm

·         線性誤差高達(dá) 0.01 %，采用數(shù)字控制器

·         E-509.CxA 控制電子元件，兼容 E-500 壓電控制器系統(tǒng)

應(yīng)用領(lǐng)域

高精度定位。

分辨率

電容式傳感器可在較短的距離內(nèi)實(shí)現(xiàn)皮度計(jì)的分辨率。理論測(cè)量分辨率是無限的。在實(shí)踐中，散射輻射、幾何效應(yīng)和測(cè)量電子噪聲會(huì)影響可實(shí)現(xiàn)的精度。與E-509配合使用。C1A電子元件，D-100.00傳感器的有效噪聲因數(shù)（100μm）為0.02 nm/?Hz。例如，對(duì)應(yīng)于 0.2 nm 的分辨率和 100 Hz 帶寬。電子元件的跳線可調(diào)帶寬高達(dá)3 kHz。

除了此處列出的標(biāo)準(zhǔn)傳感器外，PI還提供定制版本，例如測(cè)量，幾何形狀，材料，電子等。

電容式測(cè)距原理

兩種類型的電容式距離傳感器很常見：?jiǎn)坞姌O傳感器和兩電極傳感器。

雙電極傳感器可以實(shí)現(xiàn)更低的噪聲水平和更高的分辨率。其原理基于兩個(gè)導(dǎo)電表面和高頻（>100kHz）交流電，在它們之間產(chǎn)生均勻的電場(chǎng)。電容與有效表面除以距離成正比。對(duì)于給定區(qū)域，測(cè)量的距離與距離成正比。單電極電容式傳感器的工作原理類似。它們更易于處理，并且可以針對(duì)各種導(dǎo)電表面進(jìn)行測(cè)量。

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